Espectroscopia de electrões de Auger

O que é AES?

A espectroscopia de electrões de Auger— AES (Auger Electron Spectroscopy) é uma técnica analítica de superfícies que utiliza um feixe de electrões como fonte de excitação. Os átomos excitados, podem relaxar através da emissão de electrões pelo processo de Auger. A técnica AES mede a energia dos todos os electrões emitidos, sendo que os emitidos pelo processo de Auger são característicos dos elementos presente na superfície da amostra.

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Microscopia Auger de Varrimento (SAM— Scanning Auger Microscopy)

Esta técnica retira vantagem da facilidade com que um feixe de electrões pode ser focado e deflectido. Permite obter imagens dos elementos da camada superficial de uma amostra condutora. Trata-se de uma técnica que é a combinação de SEM (Scannig Electron Microscopy) com AES. Um feixe de electrões é varrido sobre a amostra e a intensidade dos electrões de Auger emitidos é medida pelo analisador de energia.

Em associação com uma fonte de iões para erosão da superfície, é possível realizar análises em profundidade.

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Algumas aplicações:

  • Análise de partículas
  • Análise de defeitos
  • Análise em profundidade

Vantagens e limitações:

  • Excelente resolução lateral e em profundidade
  • Boa sensibilidade aos elementos da superfície
  • Fraca informação química
  • Limite de detecção ≈1%at
  • Difícil a análise de não condutores